製程設備生產過程中,部份設備須加以壓縮空氣為動力來源。其供應之空氣須確保其空氣品質,並確認乾燥無誤。但大氣中所含之水氣、油份、一氧化碳及污染源,並不適合直接加入設備運轉。CDA (COMPRESS DRY AIR 簡稱CDA)為取自大氣並經壓縮後加以除溼,再以過濾器或活性碳吸附並去除空氣中的粉塵及碳氫化合物,以提供乾燥、乾淨之空氣。
另有特殊設備於生產時,須提供特殊氣體,如氮氣、瓦斯等。特殊氣體之管路配置須注意遠離易燃物,或採相對安全之隔離措施。
製程設備產生之高溫、酸鹼氣體,其管路須加作保溫或採耐酸鹼氣體之專用配管。氣體排放前,須先行過濾以降低酸鹼氣體或粉塵氣體對大氣之污染。