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製程設備長時間運轉,或因其本身設計具發熱性,而導至運轉設備過熱,須輔加適量、適溫之冷卻水,以保持運轉正常。且其水質必須保持一定之潔淨,故以搭配RO水源為佳。除須注意供應之冷卻水除其水質品質外,供應之水溫與水壓亦相對重要。過高或過低之水溫或水壓,將致使機械設備損秏,並造成供水系統之負荷,降低與浪費能源效率。