潔淨室概指於氣密空間內,將空氣中之懸浮顆粒、微生物、化學揮發性物質,及溫度、濕度、震動,控制於要求範圍級別內之空間。潔淨室之空氣係由外氣空調箱(Make-up Air Unit或MAU)補充,初步過濾微塵且加以控制溫溼度後,再與潔淨室內循環氣體加以混合後,經冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將氣體降至要求溫度後,經由循環風扇(Fan Filter Unit或FFU)帶入無塵室內部。
- 依產業類別可分為正壓潔淨室及負壓潔淨室或負壓隔離室。
- 依氣流方式可分為紊流式潔淨室及層流式潔淨室。
潔淨室適用於許多產業,如半導體生產、生化科技、生物技術、精密機械、製藥、和醫院內的手術室等行業。